# Public tenders Canonical results: https://zephior.com/de/tenders?countries=SE&categories=semiconductor-processing-equipment 1 matching notices. Page 1. Filter semantics: OR within a filter, AND across filters and text search. Omitted statuses use active defaults; [] includes all statuses. --- title: "Deep-Reactive-Ionenätzanlage (DRIE)" canonical: "https://zephior.com/de/tenders/f1bb76ed-b514-41c0-a82b-352898f8824e/deep-reaction-ion-etcher-drie" last-updated: 2026-10-13T07:41:04.176933+00:00 --- # Deep-Reactive-Ionenätzanlage (DRIE) Die Universität Uppsala sucht für Myfab Uppsala eine Deep-Reactive-Ionenätzanlage zur Strukturübertragung in der Halbleiterfertigung. Sie soll Strukturen von der Substratgröße bis zu wenigen Nanometern bearbeiten und für viele Bedienende im Universitätslabor sowie häufige Prozesswechsel geeignet sein. Gefordert sind unterschiedliche Ätzraten, Wafervereinzelung, hohe Gleichmäßigkeit, große offene Flächen und hohe Aspektverhältnisse. Das Gerät ist für Silizium und kompatible Materialien mit Photoresist- oder Hartmasken vorgesehen. TED nennt einen Schätzwert von 1 SEK, erläutert dessen nominale Grundlage aber nicht. Frist: 10. 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