# Public tenders Canonical results: https://zephior.com/de/tenders?countries=DK&categories=semiconductor-processing-equipment 1 matching notices. Page 1. Filter semantics: OR within a filter, AND across filters and text search. Omitted statuses use active defaults; [] includes all statuses. --- title: "Reaktiv-Ionenätzer für Siliziumdielektrika am DTU Nanolab" canonical: "https://zephior.com/de/tenders/88cf9c51-a38f-424d-9630-0fb02aa896cc/dtu-nanolab-reactive-ion-etcher" last-updated: 2026-10-14T22:28:10.196346+00:00 --- # Reaktiv-Ionenätzer für Siliziumdielektrika am DTU Nanolab Das DTU Nanolab sucht einen reaktiven Ionenätzer mit hoher Ionendichte für Siliziumoxide und -nitride als Hauptgerät für die Bearbeitung von 150-mm-Wafern. Die vollständige verfügbare Beschreibung verlangt kontrollierbare, einstellbare Ätzprozesse von unter 100 nm großen Nanostrukturen bis zu Tiefen von mehreren zehn Mikrometern. Die Lieferung wird spätestens im dritten Quartal 2027 erwartet; die Installation erfolgt im Reinraum des DTU Nanolab für mehr als 200 aktive Nutzende, darunter gewerbliche Kunden. Frist: 23. 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